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期刊论文
用STM的纳米导电图形加工技术的研究
用STM的纳米导电图形加工技术的研究
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xmyone1
【摘 要】
:
用STM针尖对有机络合物电双稳薄膜材料施加强电场作用,可在材料表面产生纳米线度的导电几何图形.实验证明:对针尖本身的几何构形、施加在针尖上的脉冲幅度、周期和占空比都必
【作 者】
:
潘钢
严学俭
吉小松
叶钢锋
张群
章壮健
华中一
【机 构】
:
复旦大学材料科学系
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
2002年2期
【关键词】
:
纳米导电图形
加工技术
集成电路
扫描隧道显微镜
纳米加工
纳米电子器件
Conductive patterning
STM
Nanometer scale f
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用STM针尖对有机络合物电双稳薄膜材料施加强电场作用,可在材料表面产生纳米线度的导电几何图形.实验证明:对针尖本身的几何构形、施加在针尖上的脉冲幅度、周期和占空比都必须进行细致的选择.用Ag-TCNQ络合物进行实验,在适合的针尖-样品距离下,发现所加脉冲偏压的极性为负时,容易进行加工.
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