【摘 要】
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基于常压微波等离子体产生装置的三维数字模型用于分析等离子体产生过程中电场、反射系数等物理参数的变化和等离体的特性。三维数字模型建立在包括气体放电物理过程、边界条
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基于常压微波等离子体产生装置的三维数字模型用于分析等离子体产生过程中电场、反射系数等物理参数的变化和等离体的特性。三维数字模型建立在包括气体放电物理过程、边界条件和工作气体碰撞反应等大量的电磁学、流体力学、化学以及分子动力学的学科理论模型基础上，对多个参数进行耦合计算。计算结果表明：等离子体的激发是一个快速、剧烈的过程，在72.5×10? s时，放电区域的气体电离达到最高峰，0.1 s时等离子体就已趋于稳定。同时激发气体产生等离子体所消耗的微波功率在等离子体激发过程中先急速增大，到达峰值后缓慢减小。
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