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利用压电陶瓷的逆压电效应，可制成微位移驱动器。对该类器件的性能特点、分类、应用概况，压电陶瓷材料本质对该器件性能的影响，材料的选择及发展趋势等方面进行了介绍。
压电陶瓷微位移驱动器概述
【摘 要】
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利用压电陶瓷的逆压电效应，可制成微位移驱动器。对该类器件的性能特点、分类、应用概况，压电陶瓷材料本质对该器件性能的影响，材料的选择及发展趋势等方面进行了介绍。
【机 构】
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中科院上海硅酸盐研究所
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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1994年01期
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