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利用三极差分抽气分子束质谱装置在亚大气压介质阻挡放电产生的氮等离子体中观测到，粒子流中的主要离子成分是N^＋，N2^＋，并且分别研究了放电气压、放电电压、放电重复频率对氮等离子体中N^＋与N2^＋活性物种离子流强度的影响。结果显示，N^＋的离子流强明显高于N2^＋，主要是由于产生的N^＋和时在电场作用下向阴极板运动时，N2^＋会与中性粒子及电子碰撞发生反应而进一步生成了N^＋，并且N^＋与啊流强随放电电压、放电频率的增大而增大，N^＋，N2^＋的相对浓度几乎不变，而随N2压力变化N^＋与N2^＋流强会出现