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介绍了采用射频反应工艺制备的ＡＩＮ薄膜对金属膜电阻器性能的影响，通过功率老化，高温贮存试验和电阻温度系数的测量，结果表明在陶瓷基体上淀积ＡＩＮ薄膜可以提高金属膜电阻器的可靠性。
提高金属膜电阻器可靠性的途径
【摘 要】
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介绍了采用射频反应工艺制备的ＡＩＮ薄膜对金属膜电阻器性能的影响，通过功率老化，高温贮存试验和电阻温度系数的测量，结果表明在陶瓷基体上淀积ＡＩＮ薄膜可以提高金属膜电阻器的可靠性。
【机 构】
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华中理工大学固体电子学系
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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1994年2期
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