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根据液固化学反应特性和欧几里得有效面积公式，建立了适用于粗糙晶圆表面的化学反应动力学方程，得到了不同晶圆表面的化学反应速率常数和化学机械平坦化（CMP）前后晶圆质量差。根据晶圆表面不同位置的lg（RMS height）-lgx拟合直线斜率和截距的平均值，得到了每个晶圆表面的分形维数与尺度系数，进一步得到了铜膜化学反应分级数。通过分析晶圆表面分形维数对化学反应动力学参数的影响，可以得出：当表面分形维数为2．917时，铜膜的化学反应分级数为1，此时铜膜的络合反应过程中的所有瞬时反应数量达到最小值。最后的验证试