采用二元光学技术设计PS互连网络器件

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介绍了一种利用二元光学技术设计制作二元PS互连网络器件的方法,这种器件可以很简单地实现二维光学PS网络,而且具有重量轻,微型化,性能稳定,互连效率高等特点,分析了二元PS器件的串音问题,互连效率以及菲涅耳透的相对孔径与波长,光刻极限之间的关系。
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