【摘 要】
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以氧化铝（ Al2 O3）掺杂的氧化锌（ ZnO）陶瓷靶作为溅射靶材，采用射频磁控溅射工艺在玻璃基片上制备了具有c轴择优取向的铝掺杂氧化锌（ ZnO：Al）薄膜样品。通过可见-紫外光分光光度计和X
【机 构】
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中南民族大学实验教学中心光学实验室,中南民族大学电子信息工程学院
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以氧化铝（ Al2 O3）掺杂的氧化锌（ ZnO）陶瓷靶作为溅射靶材，采用射频磁控溅射工艺在玻璃基片上制备了具有c轴择优取向的铝掺杂氧化锌（ ZnO：Al）薄膜样品。通过可见-紫外光分光光度计和X射线衍射仪的测试表征，研究了生长温度对薄膜光学性能及其微结构的影响。实验结果表明：薄膜性能和微观结构与生长温度密切相关。随着生长温度的升高，样品的可见光平均透过率、（002）择优取向程度和晶粒尺寸均呈非单调变化，生长温度为640 K的样品具有最好的透光性能和晶体质量。同时薄膜样品的折射率均表现为正常色散特性，其光
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