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为进一步提高声表面波气体传感器的性能，这里研制一种全新的，采用声表面波谐振器的传感器，该种传感器基于声表面波延迟线的传感器相比，具有低噪声和高灵敏度等特性。经实验验证，该方法对研制谐振式传感器提供了一个新的技术平台。
一种新型的声表面波有机气体检测方法
【摘 要】
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为进一步提高声表面波气体传感器的性能，这里研制一种全新的，采用声表面波谐振器的传感器，该种传感器基于声表面波延迟线的传感器相比，具有低噪声和高灵敏度等特性。经实验验证，该
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系,中科院电子所传感技术重点实验室
【出 处】
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云南大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1997年1期
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