【摘 要】
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阐述了计算机辅助设计技术（TCAD）的应用发展历程，介绍了相关软件（TSUPPREM4、MEDICI）的原理及功能。分别对以改善pn结边缘曲率效应，提高结击穿电压为目的功率器件结终端结构——场
【机 构】
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廊坊广播电视大学,中国电子科技集团公司第十三研究所
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阐述了计算机辅助设计技术（TCAD）的应用发展历程，介绍了相关软件（TSUPPREM4、MEDICI）的原理及功能。分别对以改善pn结边缘曲率效应，提高结击穿电压为目的功率器件结终端结构——场限环、场板进行了模拟。以某型号器件的芯片设计生产为实例，通过工艺与器件电学性能的仿真结果与最终器件实测结果进行比较，展示出TCAD技术的特点，体现了TCAD技术对于半导体生产制造的重要作用。
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