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<正> 用八束激光刷涂半导体掩模母板可比原来的工艺快五倍。每次可以扫描2mm宽的条,分裂激光束产生甚大规模集成电路所有元件的复杂几何图形。最后,由激光产生的数据印在母板上,成为放大铬-石英母板图形,用来制造掩模,生产各种芯片。
用激光刷涂半导体掩模母板
【摘 要】
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<正> 用八束激光刷涂半导体掩模母板可比原来的工艺快五倍。每次可以扫描2mm宽的条,分裂激光束产生甚大规模集成电路所有元件的复杂几何图形。最后,由激光产生的数据印在母板
【出 处】
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国外激光
【发表日期】
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1989年2期
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