【摘 要】
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针对移相干涉测量中振动引起的移相误差和对比度变化,提出了一种从空间载波干涉图频谱中提取移相和对比度信息的方法.该方法通过分析载波干涉图频谱,从基带和边带中提取移相
【机 构】
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中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
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针对移相干涉测量中振动引起的移相误差和对比度变化,提出了一种从空间载波干涉图频谱中提取移相和对比度信息的方法.该方法通过分析载波干涉图频谱,从基带和边带中提取移相和对比度信息,运用最小二乘法补偿对比度变化并复原波前位相.最后采用构造平滑孔径函数对带有孔径的干涉图进行处理.数值仿真证明：提出的方法可以高精度检测移相量和对比度变化,能够有效补偿因对比度变化引起的位相复原误差.在频率为9 Hz、幅度为0.5 μm的简谐振动条件下实验验证了本文方法的实用性.结果显示：从受振动干扰的干涉图中复原平晶表面时,其复原误
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