【摘 要】
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利用Ｘ射线非镜面散射方法，分析了不同氩气压下磁控溅射制备的Ｍｏ薄膜的微结构。实验与模拟计算表明：随着氩气压的增加，非晶层的密度减小，薄膜的表面粗糙度增大，相干长度减小。这一结果
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利用Ｘ射线非镜面散射方法，分析了不同氩气压下磁控溅射制备的Ｍｏ薄膜的微结构。实验与模拟计算表明：随着氩气压的增加，非晶层的密度减小，薄膜的表面粗糙度增大，相干长度减小。这一结果与异常辉光放电的溅射模型相符合。
The microstructures of Mo films prepared by magnetron sputtering under different argon pressures were analyzed by X - ray non - specular scattering method. Experimental and simulation results show that with the increase of argon pressure, the density of the amorphous layer decreases, the surface roughness of the film increases, and the coherence length decreases. This result is consistent with the sputtering model of abnormal glow discharge.
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