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本文用显微断面术技术,在透射电镜中观察了蒸发淀积Cu膜的显微结构。实验结果表明、薄膜是由直径大致相同的相互平行的倾斜小柱体所组成。对柱状结构形成的机理也进行了初步探讨。更多还原
蒸发淀积薄膜的柱状显微结构
【摘 要】
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本文用显微断面术技术,在透射电镜中观察了蒸发淀积Cu膜的显微结构。实验结果表明、薄膜是由直径大致相同的相互平行的倾斜小柱体所组成。对柱状结构形成的机理也进行了初步
【机 构】
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吉林大学材料科学研究所,吉林大学材料科学研究所长春,长春
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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1989年1期
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