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随着微米／纳米科学技术的发展，微细加工微区分析所用的主要技术之一－聚焦离子束技术引人注目。本文简述了具有液态金属离子源的聚焦离子束技术的主要功能，着重报道了近来该技术下述领域中的应用。
液态金属离子源聚焦离子束系统在微米／纳米技术中的应用
【摘 要】
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随着微米／纳米科学技术的发展，微细加工微区分析所用的主要技术之一－聚焦离子束技术引人注目。本文简述了具有液态金属离子源的聚焦离子束技术的主要功能，着重报道了近来该技术下
【机 构】
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清华大学电子工程系,100084
【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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1999年6期
【基金项目】
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国家“863”项目
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