2. 您的位置
3. 首页
4. 期刊论文
5. Si基外延GaN中位错的光助湿法化学显示

Si基外延GaN中位错的光助湿法化学显示

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yocar

【摘 要】

：

采用1000W卤钨灯作为光源,对GaN外延膜在KOH溶液中进行化学腐蚀,以显示晶体位错.采用扫描电子显微镜、原子力显微镜观察位错密度及表面形貌,得到了清晰的腐蚀图形.提出了腐蚀

【作 者】

：

赵丽伟 刘彩池 滕晓云 郝秋艳 朱军山 孙世龙 王海云 徐岳 

【机 构】

：

河北工业大学材料学院,深圳大学光电子学研究所

【出 处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2006年6期

【关键词】

：

GAN 湿法化学腐蚀 六角腐蚀坑 GaN  wet etching  hexagonal etching pits 

【基金项目】

：

教育邵新世纪优秀人才支持计划和河北省自然科学基金（批准号：E2005000042）资助项目

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文 赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

采用1000W卤钨灯作为光源,对GaN外延膜在KOH溶液中进行化学腐蚀,以显示晶体位错.采用扫描电子显微镜、原子力显微镜观察位错密度及表面形貌,得到了清晰的腐蚀图形.提出了腐蚀机理,光照激发位错处产生电子-空穴对,加速位错处的腐蚀速率.GaN表面出现了大量的六角腐蚀坑（位错露头）.优化了KOH溶液的腐蚀条件.

其他文献

《广西植物》第四十卷总目次

期刊

GaN1-xPx三元合金的红外谱

对GaN1-xPx三元合金进行了红外谱的测试和拟合.分析结果表明在GaN1-xPx三元合金中存在两个彼此竞争的机制制约着载流子浓度的变化.一个是来自等电子陷阱的影响,它将减少三元

期刊

GaN1-x-Px三元合金红外反射纵向光学声子-等离激元晶格振动

基于热光效应的1×4聚合物数字光开关

提出了基于热光型聚合物的集成有S弯曲光衰减器的1×4Y分叉数字光开关．利用开关与光纤阵列耦合用的S弯曲，将其设计成可变光衰减器，这使得器件更紧凑，并获得低串扰和大分叉角．

期刊

S弯曲可变光衰减器热光效应数字光开关集成光学bend waveguide variable optical attenuator thermo-o

谈市政道路工程的质量监理研究

介绍了市政道路工程质量监理的意义及特点,从对施工材料的质量进行检查与验收、对道路面层施工质量的监理、合理并充分运用工程计量等方面,阐述了市政道路工程质量监理的具体

期刊

市政道路工程质量监理施工要求municipal road engineering quality supervision construction d

晋江鞋企冲出国门完成草根转身

据统计，晋江是全国重要的体育用品制造基地，体育用品涵盖运动鞋、运动服装、运动器械等类别，拥有安踏、361°、德尔惠、特步、喜得龙、匹克、贵人鸟等国家级品牌37家。就在

期刊

运动鞋晋江草根体育用品知名品牌制造基地运动服装运动器械

基于AutoCAD的绘制误差曲线的方法

以某一平差问题的误差椭圆为例,利用AutoCAD的绘图功能给出了误差曲线的绘制方法,先通过将椭圆第一象限内的部分等分、求斜率、计算倾角、绘制各切线的垂线,然后将各垂足利用多段线进行连接后,将该多段线进行拟合,从而得出了误差曲线,该方法较容易实现,精度较高,易于广大测绘技术人员掌握。

期刊

AUTOCAD误差椭圆误差曲线多段线

淤泥地质条件下模袋砂围堰水阐施工技术探讨

伴随着施工技术的不断进步和发展,围堰施工项目成为了水利建设工程体系中非常关键的环节,尤其是河道淤泥含水量本身数值较高,会出现淤泥扰动甚至是滑塌等问题,只有建立健全系

期刊

淤泥地质条件模袋砂围堰水阐施工技术silt geological conditions mould bag sand cofferdam sluic

莆田鞋类出口突破10亿美元大关

据统计，今年1至7月，莆田共出口鞋业4．1万批、货值10．85亿美元，分别同比增长21．5％和25％，出口值创历史同期新高。莆田鞋类出口快速增长的原因有以下几点：一是莆田鞋业具有平均规模大、交

期刊

出口莆田鞋类同比增长产品结构创新技术产品价格交货期

福建省轻工业联合会到闽南地区调研

12月4—6日，福建省轻工业联合会调研组一行三人前往闽南地区7家白酒生产企业进行调研，此次调研的目的是了解企业生产经营环境、市场环境和资金环境。

期刊

闽南地区轻工业福建省调研白酒生产企业经营环境企业生产市场环境

我国中医类医院运行效率的测度与评价

目的对2017年我国31个省(自治区、直辖市)中医类医院运行效率进行分析,以期为我国中医药卫生资源合理配置和规划提供参考。方法运用三阶段数据包络分析(data envelopment ana

期刊

中医类医院三阶段数据包络分析技术效率纯技术效率规模效率