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介绍了基于离子束溅射工艺，生产高性能薄膜压力传感器的设计与工艺要点，提供实例及若干关键数据
高性能薄膜压力传感器设计与工艺
【摘 要】
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介绍了基于离子束溅射工艺，生产高性能薄膜压力传感器的设计与工艺要点，提供实例及若干关键数据
【机 构】
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国防科技大学航天技术系
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1997年11期
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