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采用分子束外延(MBE)技术,研制生长了InGaAs/GaAs奕变单量子阱激光器并研究了生长温度及界面停顿生长对激光器性能的影响。结果表明,较高的TNGaAs生长温度和尽可能短的生长停顿时间,将有利于降低激光器的阈值电流。所外延的激光器材料在250μm×500μm宽接触、脉冲工作方式下测量的阈电流密度的典型值为160mA/cm^2。用湿法腐蚀制作的4μm条宽的脊型波导激光器,阈值电流为16nA,外