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随着通讯、信息产业的迅速发展，各种光电子元件得到惊人的发展并趋于高性能化，对光电子材料的加工技术也提出了更高的要求。文章从锯切、磨削、抛光三个方面介绍了光电子材料的磨粒加工技术，并对光电子材料磨粒加工技术的发展趋势进行了展望。
光电子材料的磨粒加工技术综述
【摘 要】
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随着通讯、信息产业的迅速发展，各种光电子元件得到惊人的发展并趋于高性能化，对光电子材料的加工技术也提出了更高的要求。文章从锯切、磨削、抛光三个方面介绍了光电子材料的
【机 构】
：
华侨大学机电及自动化学院
【出 处】
：
超硬材料工程
【发表日期】
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2009年6期
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