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<正> 序言以薄膜复盖物体表面这种技术在工业领域里被广泛地利用着,其方法是根据不同的材料和目的采用电镀、涂敷、溅射和蒸发等各种技术。在电子学的领域里,从像绝缘膜和电极那样起着比较单纯的作用的膜,到像集成电路等半导体元件上的薄膜层、磁带等的磁记录介质、镀线存储器等的磁性薄膜那样的“膜”本身起主要功能作用的例子不胜枚