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经过量产验证的可持续性腔室清洗方案帮助芯片生产商在不断提高产能的同时,降低了由于设备保养而产生的负面影响。
可持续性腔室清洗方案：前道制程的幕后英雄
【摘 要】
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经过量产验证的可持续性腔室清洗方案帮助芯片生产商在不断提高产能的同时,降低了由于设备保养而产生的负面影响。
【机 构】
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LindeBectronics
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2008年3期
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