论文部分内容阅读
1 引言制造技术由于使用了激光干涉仪系统,明显地提高了质量。多少年来,干涉仪的精度高于设备要求的精度。然而,最近制造技术的发展情况对激光干涉仪系统的精度提出了更高的要求。激光干涉仪系统的总精度是由误差源的各个分量求和确定的。误差分量分为固定项和成比例项,成比例项是被测距离的函数。激光干涉仪系统误差分量为: ①固有误差:激光波长精度:测量分辨率;光学非线性。②环境产生的误差:大气补偿:材料尺寸随温度的