【摘 要】
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应用动态膜技术回收半导体厂晶片切割废水,研究了动态膜的形成条件及其水处理效果.通过恒压过滤形成动态膜：恒压过滤压差5 kPa,曝气强度10 L/min,过滤高浓度（TS=1 800 mg/L）含硅
【机 构】
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大连理工大学环境与生命学院工业生态与环境工程教育部重点实验室,三洋电机中国有限公司大连分公司
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应用动态膜技术回收半导体厂晶片切割废水,研究了动态膜的形成条件及其水处理效果.通过恒压过滤形成动态膜：恒压过滤压差5 kPa,曝气强度10 L/min,过滤高浓度（TS=1 800 mg/L）含硅废水,形成了均匀而阻力较小的动态膜;之后在一定的过滤运行条件下,研究膜过滤低浓度晶片切割废水的运行周期和水处理效果：要处理的废水TS（总固形物）=40mg/L,恒速过滤滤速为0.6 m/d,曝气量为15 L/min.结果表明：该动态膜可保护基膜不被污染,维持较长的过滤周期,稳定运行时间达260-360 h.膜过滤
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