三振镜光扫描系统设计

来源 :应用激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hxhx1122

【摘要】

：

根据几何光学原理,设计了一个高精度、多功能的三振镜光扫描系统。系统性能优于二振镜系统,定位精度±7μm。 According to the principle of geometrical optics, a high p

【作者】

：

施亚玲王又良郁德明苏小荣龚焕明

【机构】

：

上海市激光技术研究所,上海市激光技术研究所,上海市激光技术研究所,上海市激光技术研究所,上海市激光技术研究所,

【出处】

：

应用激光

【发表日期】

：

1990年05期

【关键词】

：

光扫描定位精度系统性能刻线零位漂移反射光激光刻划象差水平夹角光学元件

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根据几何光学原理,设计了一个高精度、多功能的三振镜光扫描系统。系统性能优于二振镜系统,定位精度±7μm。 According to the principle of geometrical optics, a high precision and multifunctional three-mirror optical scanning system is designed. System performance better than two galvanometer system, positioning accuracy ± 7μm.

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