【摘 要】
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计算了利用液态金属离子源获得亚微米探针时透镜所必须满足的色差系数的限制.通过改进的面电荷密度法计算程序,可在微机上把计算一个静电透镜的场分布和光学参数的时间缩短到
【机 构】
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北京大学电子显微镜实验室,清华大学现代应用物理系,清华大学现代应用物理系
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计算了利用液态金属离子源获得亚微米探针时透镜所必须满足的色差系数的限制.通过改进的面电荷密度法计算程序,可在微机上把计算一个静电透镜的场分布和光学参数的时间缩短到3min.设计了一个低色差长焦距的四电级透镜,在离子源能散为 10 eV,角发射电流密度为 20 μA/sr,束能量为 30 keV时,可获得束流为1nA,柬径为0.1μm的离子探针,工作距离为50 mm.
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