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在平行板反应离子刻蚀系统的圆筒形腔体的侧壁上绕上电流线圈后,系统中的磁场强度和均匀性都可进行调节.本文根据螺线管线圈内部磁场的分布规律,通过数值计算的方法在该系统中获得均匀的磁场.
平行板反应离子刻蚀系统均匀磁场的数值计算
【摘 要】
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在平行板反应离子刻蚀系统的圆筒形腔体的侧壁上绕上电流线圈后,系统中的磁场强度和均匀性都可进行调节.本文根据螺线管线圈内部磁场的分布规律,通过数值计算的方法在该系统
【机 构】
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贵州民族学院物理与电子信息科学学院,贵州,贵阳,550025中国科学院合肥物质研究院固体物理所,安徽,合肥,230031;
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2010年2期
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