【摘 要】
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摘要：为了提高氮化硅材料的弹性模量和烧结后的强度和韧度，通过感应耦合等离子体技术产生尘埃等离子体，采用SiH4。和N2为反应气体，气相沉积SiN4纳米粉体材料。利用朗缪尔探针技术
【机 构】
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华南农业大学工程学院,华南师范大学物理与电信工程学院
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摘要：为了提高氮化硅材料的弹性模量和烧结后的强度和韧度，通过感应耦合等离子体技术产生尘埃等离子体，采用SiH4。和N2为反应气体，气相沉积SiN4纳米粉体材料。利用朗缪尔探针技术测得沉积室中离子密度分布，获得气压为53Pa时，不同射频功率和不同位置处离子密度分布规律。通过TEM、IR和XRD技术对SbN。纳米粉体材料微结构进行了分析。结果表明：尘埃等离子体技术制备的纳米Si3N4粉体材料为球形，均匀分布在20nm，并且具有β—Si3N4晶相。
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