采用PMMA LB膜作为电子束抗蚀层进行100mm高分辨率铬掩模版的制作研究

来源 :微电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hejianfeng05
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
在发展流动亚相法制备高粘度聚合物分子单层膜装置的基础上,研究制备大面积、高质量的PMMALB膜抗蚀层,并用于100mmCr掩模版的电子束光刻制造技术中,采用现行标准的湿法工艺获得了分辨率为0.5μm,特征线宽为0.3μm的高分辨率100mm铬掩模版。为深亚微米掩模版制造的研究探索了一条新路。 Based on the development of mobile monolithic high viscosity polymer molecular monolayer device, a large area, high quality PMMALB film resist was developed and used in electron beam lithography technology of 100mmCr reticle. A standard high-resolution 100mm chromium reticle with a resolution of 0.5μm and a characteristic linewidth of 0.3μm was obtained using a standard wet process. A new road has been explored for the study of deep submicron reticle manufacturing.
其他文献
在高效率和低电流小信号范围内,理论地分析了用反向渐变波导提高远红外波导自由电子激光器(FIR-FEL)效率的机理.并用单粒子模型进行了一维数值模拟,得到了令人鼓舞的结果. I
新型高功率TEM_(00)模氦—氖激光器根据李先枢教授提出的共振腔理论设计、由广州激光技术应用研究所和中山大学合作研制的新型封离式氦一氖激光器(输出波长为632.8urn),输出性能提高到一个新高
11月15日,西藏自治区台球协会成立暨’98首届中国拉萨司诺克台球赛新闻发布会,在拉萨饭店举行。 区体委主任姬嘉在新闻发布会上说,举行’98首届中国拉萨司诺克台球赛的意义
高职旅游专业实训基地建设是高职旅游人才培养的重要环节,文章从旅游专业实训基地建设中存在的问题出发,结合旅游专业实际情况,为实训基地的建设及管理提出几点建议,旨在能充
本文分析论述了生态旅游业的发展对甘肃祁连山国家级自然保护区居民的影响,分析了造成消极影响的原因,提出了减少和消除消极影响的建议。一、保护区经济社会概况祁连山保护区
中、越一役,上海申花队的刘军出现在场上,其表现受到各方的称赞,包括主教练戚务生。 刘军是顶替健力宝青年队队员而来到国家队的,他能否在国家队站稳脚跟还很难说。 我们的
2009年3月,我们在河南驻马店一乡镇进行了为期半个月的乡镇运作情况调查。调查结果与社会多数人想象的“乡镇干部妖魔化”的状态大相径庭。调查表明,由于当前政治体制的格局,
今年3月22日我带领厦门象棋队去菲律宾访问比赛后抵达香港。香港业余钓鱼会老会长、顾问谢威廉先生,主席马锦霖先生,会长邓观明先生等热情地接待了我们。让我们感到喜出望外
足球场曾经流行一句谚语:有自信不一定会赢,没自信就一定会输。 星期天的万达、国安之战,为这句绿茵谚语作了最深刻的诠释。 这是第九轮最意味深长的比赛,但即使是最有经验
西藏登山探险队一行11人,4月23日从拉萨出征,正式向号称“吃人的魔鬼山峰”的南迦巴尔帕特峰挑战。 由桑珠队长率领的这支精干的探险队,肩负着到2002年前登完地球上全部14座