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<正> 国内外概况 自动探针台作为对芯片电路进行参数和功能测试的中间测试设备,在国内外已有较长时间的研究和应用。随着LSI及VLSI的发展,测试点数量的增加、尺寸的缩小、密度的增大、以及规模生产和某些敏感元器件测试的需要,对自动探针台的精度(定位精度、重复精度及位置分辩率)、运行速度、使用功能、探测能力、软件接口、工作可靠