【摘 要】
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精密摩擦件离子注入技术研究成果简介航天工业总公司七○三所研制的离子注入设备具有离子溅射与离子注入合一的特点，结构合理，并实现了计算机控制。所研制的多次Ｎ＋静态注入Ｔｉ的工艺
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精密摩擦件离子注入技术研究成果简介航天工业总公司七○三所研制的离子注入设备具有离子溅射与离子注入合一的特点，结构合理，并实现了计算机控制。所研制的多次Ｎ＋静态注入Ｔｉ的工艺稳定，效果良好，表面硬度提高１倍以上，摩擦系数下降１～２倍，磨损率降低２０倍。...
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