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为进一步提高热超声引线键合超声电源的自动频率跟踪速度及精度，提出了基于现场可编程门阵列（FPGA）的超声电源设计方案。利用FPGA并行执行的特点，移位乘法器的流水线功能及数字增量式比例、积分及微分（PID）控制算法，缩短了回路控制时间，提高了自动频率跟踪的速度。采用高精度的直接数字频率合成（DDs）和数字锁相环技术，实现了高频率跟踪精度。实验表明，在空载及给定负载状态下，超声变幅杆从失谐状态到谐振状态仅需0．6～1．1ms；频率跟踪误差不超过±50Hz。