【摘 要】
：
采用一个极紫外投影光刻掩模衍射简化模型实现了三维接触孔掩模衍射场的快速仿真计算。基于该模型，得到了接触孔掩模衍射场分布的解析表达式，并对光刻成像时的图形位置偏移现象进行了解释和分析。简化模型中，掩模包括吸收层和多层膜两部分结构，吸收层的透射利用薄掩模修正模型进行计算，多层膜的反射近似为镜面反射。以周期44 nm、特征尺寸分别为16 nm和22 nm的方形接触孔为例，入射光方向发生变化时，该简化模型与严格仿真相比，图形特征尺寸误差小于0.4 nm，计算速度提高了近100倍。此外，考虑到多层膜镜面位置对图形位
【机 构】
：
中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室,上海201800中国科学院研究生院,北京100049
论文部分内容阅读
采用一个极紫外投影光刻掩模衍射简化模型实现了三维接触孔掩模衍射场的快速仿真计算。基于该模型，得到了接触孔掩模衍射场分布的解析表达式，并对光刻成像时的图形位置偏移现象进行了解释和分析。简化模型中，掩模包括吸收层和多层膜两部分结构，吸收层的透射利用薄掩模修正模型进行计算，多层膜的反射近似为镜面反射。以周期44 nm、特征尺寸分别为16 nm和22 nm的方形接触孔为例，入射光方向发生变化时，该简化模型与严格仿真相比，图形特征尺寸误差小于0.4 nm，计算速度提高了近100倍。此外，考虑到多层膜镜面位置对图形位置偏移量的影响，得到了图形位置偏移量的计算公式，其计算结果也与严格仿真相一致。
其他文献
The nonlinear Talbot effect is a near-field nonlinear diffraction phenomenon in which the self-imaging of periodic objects is formed by the second harmonics of the incident laser beam. We demonstrate the first, to the best of our knowledge, example of non
在激光器和其他光学装置中，都需要使传输媒质的光学平面变得准确平行。目前已有两种确定的方法。第一种方法是采用一般的自准直望远镜，对于小孔径的复杂的激光器系统，它可能不能提供足够的亮度。第二种方法是采用带有以45°角安置在管内的半反射片的望远镜。
光泵激光器的效率在很大程度上取决于照明组件中反射器的质量。反射器的质量与反射性质(漫反射或镜反射)关系不大，而主要取决于反射率。尽管镜式反射器有较大的普及性，但它们在反射率方面不如漫反射器，除此之外，在激活介质中还建立了泵浦强度的不均匀分布。
针对暗通道先验去雾算法在处理单幅图像去雾时计算复杂度高且对于天空等高亮区域有局限性而易产生失真的问题,从暗通道模型出发,提出首先利用双暗通道拟合进行透射图估计,然后采用K均值聚类算法对有雾图像进行区域分类之后再针对天空区域估计出大气光强度的算法。该算法增强了图像的细节信息,并大大降低了计算复杂度,且提升了大气光强度估计值的准确性,有效抑制了高亮区域的失真。主观和客观评价表明,该算法能够取得比传统算
目前大气透射仪存在发射端和接收端安装调校困难的问题,并且在工作过程中,发射端和接收端一旦发生偏移,光轴不处于一条直线,将大大影响能见度测量结果。针对这些问题,提出将近景摄影测量技术应用到大气透射仪的对准系统中,采用圆形作为人工标志物,通过图像处理及椭圆最小二乘拟合算法,计算人工标志物的圆心坐标,根据标志物的圆心坐标与摄像机镜头的中心坐标的位置关系,将发射端和接收端的摄像机镜头的中心通过旋转结构拉倒
通过计算机模拟发现在可传输双模的三包层色散补偿光纤中如果抑制LP02模, 而仅传输LP01模时能在一个较窄的带宽内产生大于数千ps/nm·km的负色散, 并且具有较大的模场直径、较小的弯曲损耗和偏振模色散, 另外还具有较小的温度波长漂移以及同其它色散补偿光纤一样大小的损耗, 是一种非常有前途的新型色散补偿光纤
为了能有效应对目标姿态变化、光照变化和运动模糊等场景对目标跟踪问题带来的干扰以及满足系统实时性,提出了一种基于特征压缩的目标跟踪方法,该方法通过随机投影来保存图像特征空间结构,采用稀疏测量矩阵有效压缩多尺度特征空间的特征。将一幅图像分为前景目标和背景,对这两部分采用同样的稀疏测量矩阵进行压缩特征提取,将跟踪任务变为建立一个二值贝叶斯分类器,同时在压缩域上在线更新,实现对目标特征的有效表达和实时、准