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近几年用马来酰亚胺—苯乙烯共聚物作为粘合刑及活性物的光刻胶体系有很多研究。本文综述了这方面的研究进展。
马来酰亚胺—苯乙烯共聚物类型的光刻胶
【摘 要】
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近几年用马来酰亚胺—苯乙烯共聚物作为粘合刑及活性物的光刻胶体系有很多研究。本文综述了这方面的研究进展。
【出 处】
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感光材料
【发表日期】
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1991年1期
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