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扫描探针显微镜（SPM）作为高精度显微工具的同时，还可以作为加工工具对样品表面进行刻蚀加工。扫描探针刻蚀加工技术（SPL）近年来发展迅速。本文综述了基于SPM的扫描探针机械刻蚀技术，并介绍了DPN技术的机理及最新研究进展。
扫描探针机械刻蚀及DPN新技术
【摘 要】
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扫描探针显微镜（SPM）作为高精度显微工具的同时，还可以作为加工工具对样品表面进行刻蚀加工。扫描探针刻蚀加工技术（SPL）近年来发展迅速。本文综述了基于SPM的扫描探针机械刻蚀技
【机 构】
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浙江师范大学,江苏大学微纳米研究中心
【出 处】
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机床与液压
【发表日期】
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2006年7期
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