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不锈钢上PVDAg—Cu/Ti双层膜力学性能研究
不锈钢上PVDAg—Cu/Ti双层膜力学性能研究
来源 :中国表面工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hziyin
【摘 要】
:
研究了不锈钢上PVD Ag-Cu/Ti双层金属薄膜的力学性能,包括薄膜结合强度、弹性模量、复合硬度及残余应力.结果表明,该双层膜膜基结合良好;用4点弯曲法测得其弹性模量为63.4 GP
【作 者】
:
黄元林
石宗利
李重庵
【机 构】
:
全军装备维修表面工程研究中心,兰州铁道学院
【出 处】
:
中国表面工程
【发表日期】
:
2001年4期
【关键词】
:
气相沉积
双层膜
结合强度
力学性能
不锈钢
PVD
PVD
bilayer film
adhesion
mechanical properties
【基金项目】
:
国家重点实验室基金
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研究了不锈钢上PVD Ag-Cu/Ti双层金属薄膜的力学性能,包括薄膜结合强度、弹性模量、复合硬度及残余应力.结果表明,该双层膜膜基结合良好;用4点弯曲法测得其弹性模量为63.4 GPa;薄膜复合硬度表现出异常的负荷依存性;用X射线法测得双层膜膜内应力为张应力,大小为160 MPa.
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