不锈钢上PVDAg—Cu/Ti双层膜力学性能研究

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研究了不锈钢上PVD Ag-Cu/Ti双层金属薄膜的力学性能,包括薄膜结合强度、弹性模量、复合硬度及残余应力.结果表明,该双层膜膜基结合良好;用4点弯曲法测得其弹性模量为63.4 GPa;薄膜复合硬度表现出异常的负荷依存性;用X射线法测得双层膜膜内应力为张应力,大小为160 MPa.
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