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类金刚石薄膜的制备、特性及应用
类金刚石薄膜的制备、特性及应用
来源 :光学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sduheaven
【摘 要】
:
利用射频等离子分裂碳氢气体制备的类金刚石膜,具有硬度高、耐蚀和良好的透红外光等特性.本文研究了类金刚石膜的红外、机械、结构及电学特性,给出该膜应用于红外装置中镀膜元件的光谱性能.并结合文中所用的制备方法,讨论了类金刚石膜在低温低压下的形成机制.
【作 者】
:
李忠奇
姜杰
刘成赞
李正芬
【机 构】
:
昆明物理研究所
【出 处】
:
光学学报
【发表日期】
:
1990年10期
【关键词】
:
类金刚石薄膜
diamond-like thin film
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利用射频等离子分裂碳氢气体制备的类金刚石膜,具有硬度高、耐蚀和良好的透红外光等特性.本文研究了类金刚石膜的红外、机械、结构及电学特性,给出该膜应用于红外装置中镀膜元件的光谱性能.并结合文中所用的制备方法,讨论了类金刚石膜在低温低压下的形成机制.
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