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期刊论文
MBE生长氮化镓薄膜的X光电子谱和俄歇电子谱分析(英文)
MBE生长氮化镓薄膜的X光电子谱和俄歇电子谱分析(英文)
来源 :发光学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:longman1026
【摘 要】
:
用X光电子谱和俄歇电子能谱的方法对射频等离子体辅助分子束外延 (MBE)技术生长的氮化镓(GaN)薄膜进行了表面分析和深度剖析。发现薄膜实际表面存在O和C吸附层 ,C主要为表面
【作 者】
:
苑进社
陈光德
齐鸣
李爱珍
徐卓
【机 构】
:
西安交通大学应用物理系,中国科学院上海冶金研究所,西安交通大学电子材料研究所陕西西安710049西安理工大学应用物理系,陕西西安710048,陕西西安710049,上海200050,陕西西安71004
【出 处】
:
发光学报
【发表日期】
:
2001年S1期
【关键词】
:
GaN
X光电子谱
俄歇电子谱
分子束外延
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用X光电子谱和俄歇电子能谱的方法对射频等离子体辅助分子束外延 (MBE)技术生长的氮化镓(GaN)薄膜进行了表面分析和深度剖析。发现薄膜实际表面存在O和C吸附层 ,C主要为表面污染 ,而O形成一定的深度分布 ,从而影响氮化镓薄膜的电学和光学性质。
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