切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
仿金氮化钛薄膜的磁控反应溅射法研究
仿金氮化钛薄膜的磁控反应溅射法研究
来源 :中山大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zi198
【摘 要】
:
本文利用磁控反应溅射法研究制备氮化钛薄膜,结果表明,氮气分气压PN2直接影响膜中的氮、钛原子比,适当的衬底负偏电压可以消除膜中氧原子的存在。薄膜变与膜中原子组份、微观
【作 者】
:
陈弟虎
林理彬
谢建华
【机 构】
:
中山大学物理学系,四川大学物理学系
【出 处】
:
中山大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
1992年2期
【关键词】
:
氮化钛
薄膜
磁控反应溅射
T N
Ti
films
【基金项目】
:
四川省应用科学基金
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文利用磁控反应溅射法研究制备氮化钛薄膜,结果表明,氮气分气压PN2直接影响膜中的氮、钛原子比,适当的衬底负偏电压可以消除膜中氧原子的存在。薄膜变与膜中原子组份、微观结构有关。更多还原
其他文献
银行间债券市场做市商制度的初步研究
期刊
银行间债券市场
做市商制度
运作机制
风险管理
金融企业上市是提升企业总体竞争力的重要途径
期刊
金融企业
发行上市
企业竞争力
政策背景
中国
雷达资料提取散度的方法及其对一次暴雨过程的诊断分析
传统的散度判断方式是从雷达各仰角速度PPI图上分析,很大程度上依赖预报员的经验和主观判断。本文介绍了从雷达基数据中自动提取散度的一种方法和计算过程,并对山西一次暴雨过
期刊
雷达资料
提取
散度
radar data
extract
divergence.
银行应支持在国内开展BOT融资方式
期刊
BOT方式
融资
银行业
银企合作
上海
信贷风险
Regge极点与π-N 散射T=3/2,=3/2P-波相移
本文应用Khuri 所发展的散射振幅Regge 表示的新形式,计算了π—N 散射T=(?)J=(?)p-波散射相移;假设了在阈以上直到共振附近止的低能范围内,((?),(?))共振所在的一条Regge 极
期刊
海南抱板地区金矿地层时代归属的研究
从岩石地层学的角度探讨海南省抱板地区赋金地层的时代问题,记述了抱板群的岩性、接触关系、锆石的同位素年龄及岩石化学和微量元素组合的特征,并以此来划分地层及讨论含金地
期刊
抱板地区
金矿
地层
地层时代
Baoban region
gold deposits
stratigraphic age
middle-upper Pr
长治市近54年降水时空变化特征分析
采用长治市11个气象站1960年-2013年的降水量系列数据,运用一元线性回归、线性倾向估计、5年滑动平均等统计方法,分析了长治市近54年降水量年变化、年际及各年代际的1年平均降
期刊
降水量
变化
特征
Precipitation
Change
Features
Analysis
Changzhi city.
多元化纠纷调解机制,促进社会和谐发展
和谐社会的构建,离不开先进的民商事纠纷解决机制。古语云,水能载舟亦能覆舟。只有解决好与人民生活息息相关的权益保障问题,才能构建更加稳定的社会。纵观世界司法制度的发展,民
期刊
民事诉讼
立案调解
委托调解
法庭调解
氯化聚丁烯的结构与热分解性质
用无畸变极化转移增强~(13)C NMR方法和红外光谱研究了氯原子在氯化聚丁烯-1分子中的分布,结果表明,聚丁烯-1分子链各结构单元的氯化活性是CH_3>CH_2(支链)>CH_2(主链)>CH,文
期刊
氯化聚丁烯
结构
热分解
红外光谱
chlorinated poly (butylene-1)
structure
thermal stability
~
论资产证券化(上)
期刊
资产证券化
金融工具
金融衍生产品
与本文相关的学术论文