热敏薄膜制备工艺研究

来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:maradonaargentina
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介绍在聚酰亚胺基底上由溅射方法制备热敏薄膜的工艺条件对膜热敏特性的影响,合理的选择薄膜的制备工艺条件和热处理条件可以得到良好特性的热敏薄膜,其温度系数大于4500ppm/℃,并具备良好的机械性能。
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