论文部分内容阅读
传统的计量技术将继续用于测量尺寸不断缩小、结构日趋复杂的器件。然而在不远的将来．许多现有技术将因为不再满足质量控制和失效分析的要求而失去作用。工程师们再也不能想当然地认为，总存在必要的计量方法能够满足新器件结构的要求。美国Albany大学纳米科学与工程学院的副教授Robert GeerN前正在主持一个基于纳米力学的研究项目。