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期刊论文
准LIGA微加速度开关的研制
准LIGA微加速度开关的研制
来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:panzhengdang
【摘 要】
:
阐述了一种主要由质量块、折叠梁结构、触点电极和自锁/解锁机构组成的微型加速度开关的研制过程.设计过程中采用有限元软件Ansys进行结构模拟计算,确定了合适的结构参数;以
【作 者】
:
陈光焱
何晓平
施志贵
丁元萍
赵龙
【机 构】
:
中国工程物理研究院电子工程研究所
【出 处】
:
微纳电子技术
【发表日期】
:
2003年7期
【关键词】
:
准LIGA
微加速度开关
牺牲层
ANSYS
折叠梁
设计
acceleration switchUVLIGAsacrifice layerAnsys
【基金项目】
:
武器装备预研基金
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阐述了一种主要由质量块、折叠梁结构、触点电极和自锁/解锁机构组成的微型加速度开关的研制过程.设计过程中采用有限元软件Ansys进行结构模拟计算,确定了合适的结构参数;以硼硅玻璃为基底,采用准LIGA和牺牲层技术,分三层制作完成.经测试,开关性能较好,满足设计要求.
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