【摘 要】
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振动会使高精度面形测量产生误差。建立了振动对干涉测量面形的误差模型,应用13步移相算法分析了在振幅为63nm时的误差情况。分析结果表明,当面形测量误差的敏感频率为12Hz时
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室;
【基金项目】
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国家重大专项(2009ZX02205)资助课题
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振动会使高精度面形测量产生误差。建立了振动对干涉测量面形的误差模型,应用13步移相算法分析了在振幅为63nm时的误差情况。分析结果表明,当面形测量误差的敏感频率为12Hz时,振动引起的面形均方根(RMS)误差约为12nm。通过实验进行了验证,仿真分析结果和实验结果基本相同。实验分析了在12Hz时,振幅为5～63nm时,对应的测量面形RMS误差为1～7.1nm,振幅和RMS误差线性增大。为不同振动频率和振幅引起的面形RMS的误差分析和高精度面形测量的振动环境控制提供了一定的参考。
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