【摘 要】
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由日方设计的上海贝岭微电子有限公司100级超净车间面积220m～2,相邻空调机房面积150m～2,内装三台空调机组,机房与超净车间仅一墙之隔,下部回风口连通,上部送风经一段阻性消声器
【机 构】
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华东建筑设计院,上海民用建筑设计院
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由日方设计的上海贝岭微电子有限公司100级超净车间面积220m～2,相邻空调机房面积150m～2,内装三台空调机组,机房与超净车间仅一墙之隔,下部回风口连通,上部送风经一段阻性消声器及超净车间顶部静压室和高效过滤器后送至车间内。车间建成后发现噪声较高,且在160赫附近有明显的
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