4H-SiC晶体中Vsi本征缺陷研究

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：YUZHOU2010

【摘要】

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采用平面波展开和第一原理赝势法对4H-SiC理想晶体及与Vsi有关的电中性微观本征缺陷(Vsi、Vc-Vsi 、Vc-C、Vsi-Si)的超晶胞进行计算.结果发现:0 K且忽略原子驰豫时,电中性本

【作者】

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程萍张玉明张义门

【机构】

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宁波大红鹰学院,宁波,315175西安电子科技大学,西安,710071;

【出处】

：

人工晶体学报

【发表日期】

：

2012年4期

【关键词】

：

本征缺陷第一性原理形成能 4H-SiC

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采用平面波展开和第一原理赝势法对4H-SiC理想晶体及与Vsi有关的电中性微观本征缺陷(Vsi、Vc-Vsi 、Vc-C、Vsi-Si)的超晶胞进行计算.结果发现:0 K且忽略原子驰豫时,电中性本征缺陷VC-C和Vsi的形成能相差为4.472eV,在此基础上分析了亚稳定型本征缺陷Vsi向稳定型本征缺陷Vc-C转化的理论依据及转化方式,首先发生转移的是h晶格位置上的Si原子,与非故意掺杂4H-SiC外延材料在氙光激励作用下的ESR结果吻合较好.

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