【摘 要】
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一、引言随着微型芯片及微机电系统(micro-electro mechanical systems,MEMS)的发展,高性能的芯片和精确可靠的微型传感器在众多领域得到了广泛的应用,从日常的手机到高科技的无人机,MEMS正深刻地改变着人们的生活。同时,Trimble基于高效的第六代定制的测量型GNSS芯片和基于先进的MEMS
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一、引言随着微型芯片及微机电系统(micro-electro mechanical systems,MEMS)的发展,高性能的芯片和精确可靠的微型传感器在众多领域得到了广泛的应用,从日常的手机到高科技的无人机,MEMS正深刻地改变着人们的生活。同时,Trimble基于高效的第六代定制的测量型GNSS芯片和基于先进的MEMS
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