【摘 要】
：
研究了采用B2O3作为掺杂源以EACVD法沉积大面积掺杂CVD金刚石膜,用SEM、Raman、二次离子质谱仪、四探针电阻仪等对B掺杂金刚石膜进行了分析.结果表明直径达100mm的大面积B掺
论文部分内容阅读
研究了采用B2O3作为掺杂源以EACVD法沉积大面积掺杂CVD金刚石膜,用SEM、Raman、二次离子质谱仪、四探针电阻仪等对B掺杂金刚石膜进行了分析.结果表明直径达100mm的大面积B掺杂金刚石膜的晶粒分布均匀,非金刚石碳含量较少,生长速率达到10μm/h以上;B掺杂改变了金刚石膜的成分和结构,高浓度掺杂可以细化晶粒,在高浓度掺杂的膜中存在一定的非晶态碳;金刚石膜中B的含量在一定范围内随着掺杂源浓度的增加而正比增加;金刚石膜的电阻率随着掺杂源B2O3的浓度的增加而下降,当掺杂达到一定浓度时,金刚石膜的电
其他文献
当今是终身学习的年代,大多数人认为学习是伴随人一生的事业。虽然现在已经存在许多大学开设的成人班和各种层出不穷的成人培训机构,但是传统的学校和培训机构在时间和地域上
随着新课改在我国教育体系中的不断深入,学校和老师对于学生全面素质素养的培养也愈发注重。而体育将会是初中教育中教师注重的一大方面,对于体育的教学方式也应有所改善。本
为探讨碳化硅(SiC)/低密度聚乙烯(LDPE)复合材料的电导非线性特性,结合扫描电镜观察和X射线衍射分析研究了SiC的掺量、种类、晶型及粒径对SiC/LDPE复合材料直流伏安特性的影
由于现代社会对测绘成果的更新速度快、使用频率高,传统测绘成果管理技术已难以满足需要。基于MapGIS K9数据中心平台设计的测绘成果管理系统,采用数据仓库技术、中间件技术
本文采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)系统,以CH4, H2, N2作为源气体,以Si棒作为Si源,在Si衬底上制备出了SiCN结晶及SiCN微米棒阵列.样品的形貌由场发射扫描电子显微镜(S
旨在从安全管理体系和标准化建设等多个方面,分析当前我国及山西省建筑施工生产安全管理现状,提出了推进安全质量标准化建设、遏制生产安全事故,促进企业新发展、新形象的多
根据生产实践经验比较几种常用无人飞行器低空航测系统影像传感器的优缺点,并提出提高无人机测量精度、多源传感器集成和跨行业应用的一些实用解决方案。
河北省太行山区是严重干旱缺水地区之一,常年降水量少,地下水位深,在造林过程中干旱引起的成活率低是该地区长期造林不见林的主要根源.如何在现有的情况下提高造林成活率是当
改革开放以来,张家口市非公有制林业有了一定发展,实践证明,推进非公有制林业发展,是加快国土绿化,改善生态环境的重要举措,是调整农民增收的有效途径.……