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应用材料公司全新Endura Volta系统独特的钴制程可减少互连的瓶颈，助力摩尔定律的延续。钴制程两项突破性巨连应用支持下一代高性能、低能耗芯片，工业界首次应用选择性化学气相沉积（CVD）金属制程，展示了应用材料公司在精密材料工程中的领导地位。
应用材料公司推出15年来在互连科技中最大的材料变革
【摘 要】
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应用材料公司全新Endura Volta系统独特的钴制程可减少互连的瓶颈，助力摩尔定律的延续。钴制程两项突破性巨连应用支持下一代高性能、低能耗芯片，工业界首次应用选择性化学气相
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2014年6期
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