【摘 要】
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The growth and fabrication of GaN/InGaN multiple quantum well (MQW) light emitting diodes (LEDs) on (100) β-Ga2O3 single crystal substrates by metal-organic ch
【机 构】
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Jiangsu Provincial Key Laboratory of Advanced Photonic and Electronic Materials and Department of Ph
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The growth and fabrication of GaN/InGaN multiple quantum well (MQW) light emitting diodes (LEDs) on (100) β-Ga2O3 single crystal substrates by metal-organic chemical vapour deposition (MOCVD) technique are reported, x-ray diffraction (XRD) θ- 2θ scan spectroscopy is carried out on the GaN buffer layer grown on a (100) β-Ga2O3 substrate. The spectrum presents several sharp peaks corresponding to the (100) β-Ga2O3 and (004) GaN. High-quality (0002) GaN material is obtained. The emission characteristics of the GaN/InGaN MQW LED are measurement. The first green LED on β-Ga2O3 with vertical current injection is demonstrated.
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