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高频等离子固相外沉积工艺工程中沉积温度和沉积量是最为关键的工艺参数,但受到沉积车间温度、强光照和高频信号干扰等不利条件的限制,常规测量方法无法实现精确测量。本文根据工艺特性采用红外测温和影像测量的手段实现工艺过程的在线精确测量,提升了工艺控制精度和石英材料产品品质。
高频等离子固相外沉积工艺参数在线测量系统研究
【摘 要】
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高频等离子固相外沉积工艺工程中沉积温度和沉积量是最为关键的工艺参数,但受到沉积车间温度、强光照和高频信号干扰等不利条件的限制,常规测量方法无法实现精确测量。本文根
【机 构】
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久智光电子材料科技有限公司
【出 处】
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中国建材科技
【发表日期】
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2017年3期
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