线性离子束制备DLC薄膜的结构和性能

来源 :中国表面工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qinxiaogang2009

【摘要】

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为研究线性离子束技术在不同基体材料上沉积DLC薄膜的结构和性能,分别在YG6硬质合金、SKD11不锈钢和T7451铝合金表面沉积DLC（类金刚石）薄膜,并采用Cr作为过渡层,缓解膜基不匹配

【作者】

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周陶袁军堂黄雷汪振华

【机构】

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南京理工大学机械工程学院

【出处】

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中国表面工程

【发表日期】

：

2015年6期

【关键词】

：

线性离子束类金刚石结合强度耐磨性 linear ion source（LIS） diamond-like carbon（DLC） adhesive s

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为研究线性离子束技术在不同基体材料上沉积DLC薄膜的结构和性能,分别在YG6硬质合金、SKD11不锈钢和T7451铝合金表面沉积DLC（类金刚石）薄膜,并采用Cr作为过渡层,缓解膜基不匹配性。通过原子力显微镜、台阶仪和Raman光谱研究薄膜的表面形貌和微观结构;利用划痕仪和摩擦磨损试验机对薄膜膜基结合强度及耐磨性进行测试。结果表明：采用该技术制备的DLC薄膜均匀光滑,表面粗糙度Ra仅为5.5nm;DLC/Cr/SKD11膜系的ID/IG值低于DLC/Cr/YG6膜系和DLC/Cr/T7451膜系,说明沉积

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